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    测量方向
    ±X ±Y +Z
    更改位置

    A轴手动(垂直方向):0-90°(15°增量)                                                      

    B轴手动(水平方向):±180°(15°增量)

    重复定位精度
    σ≤1.5um
    重复精度(2σ)
    0.35um以下(带标准测力10mm测针)
    方向性(XY:2D)
    ±0.8um以下(带标准测力10mm测针),±2.5um以下(带50mm测针)
    方向性(XYZ:3D)
    ±1um以下(带10mm测针),±4um以下(带50mm测针)
    测力
    XY
    0.08N(标准测力)带10mm测针                                                                0.1N(中等测力),带25mm测针
    Z

    0.75N(标准测力)                                                               

    1.9N(中等测力)

    超程范围
    XY
    ±14°
    Z
     +4.0mm(标准测力)                                                                             +3.7mm(中等测力)
    超程测力
    XY

    0.2-0.3N(标准测力)                                                               

    0.2-0.4N(中等测力)

    Z

    3.5N(标准测力)                                                               

    7N(中等测力)                                                                            

    10N(超大测力)

    最大测针长度
    50mm(标准测力)                                                                                  60mm(中等测力)
    测针安装方法
    M2螺纹
    单个装置的质量
    250g
    耐久性
    1.000.000次
    测座
    适用的型号
    手动/CNC三坐标测量机
    任何小于Ф1mm的测针应与低测力模块一起使用

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